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碳化硅晶體定向儀的穩定度如何測定

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碳化硅晶體定向儀的穩定度如何測定

發布日期:2022-07-25 00:00 來源:http://www.674789.com 點擊:

  YX-12型X射線晶體定向儀碳化硅晶體專用)  此設備為單工作臺:主要測量碳化硅晶體的主、副參考面。設備同時配有2inch,4inch,6inch夾具各一套,分別夾持直徑2inch、4inch及6inch晶棒,用來實現參考面的測定。通過X射線定向儀穩定度的測定過程和測定結果分析,說明如下三個問題:開始為95,記錄4個數值以后逐漸向下漂移,而趨于穩定,說明X射線定向儀在工作前需要預熱20~30分鐘。單晶定向為了保證高指標高靈敏度條件下工作,開始時表指示Z大值應為滿刻度的95%~97%。說明X射線定向儀高壓變壓器的輸入端應設有穩定裝置,穩壓裝置的電壓波動不能大于2%,這樣可保持X射線晶體定向儀時間穩定地持續工作。


  X射線晶體定向儀是對單晶體的各晶面在空間相互排列角度進行精密測定的一種光學檢測儀器。測定X射線定向儀穩定度的意義,X射線定向儀式用在單晶體加工生產線上,每次連續使用長達4~8小時,因此對X射線定向儀連續工作穩定度的要求很高,它的波動直接影響被測晶面角偏差,直接關系到晶體器件的放大倍數和振蕩率等重要指標,所以對我國的電子事業的發展起到關鍵作用。儀器配置:YX-12型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分;由穩壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。



X射線晶體定向儀的穩定度測定


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